决定显微镜性能的主要因素是分辨率，也叫分辨本领或解像力。但是放大率、清晰度等物理量与分辨本领有着密切关系。
显微镜是复杂的共轴光学系统。这个系统由光源、孔径光栏、聚光镜和物镜等主要成像要素所构成。目镜只不过是把物像直接放大并投影到屏幕(包括人类视网膜)上的光学部件而已.光源可能是非相干光源如日光、灯光，也可能是相干光源如点光源。
显微镜成像光路中的关键性成像部件是物镜。从光源到物镜前透镜之间的无数个平面，在物镜的后方均有其相对应的共扼平面。但是根据阿贝理论，显微镜里的物平面O与之相对应的共扼平面即像平面O‘和光源I.平面与之相对应的共扼I,‘平面，是成像系统中重要的两对平面。
在设备中孔径光栏所限定的入射光束的张角范围内，经过聚光镜直接变成照射标本的照明光源。孔径光栏平面上的光在物镜后焦面或在其附近成像。首先孔径光栏限定成像光束所必需的入射角.这就意味着显微镜下观察物体的适宜的亮度由此决定。其次来自标本的立体结构的不同平面上的成像光线也由此来决定。总之设备中的物像的适度反衬度和物像轮廓的清晰度由此来决定。
影响图像清晰度可以设法校正一种像差是像散。和透射电镜中一样，扫描电镜镜筒的下部也装有一个消像散器。应该认真调节消像器才能保证得到好的图像。如果像散量过大，消像散器的校正场已不足补偿其缺陷，就必须尽快清洗电镜的光路区，常用显微镜型号景深有多大尤其是本透镜和末光阑部分。
显微镜校准的方法很简单：
1、显微镜的溯源由于各种金相显微镜的用途不同，故其类型、结构及精度亦不同，因而溯源关系和方式也不同。通过不同的技术手段和方法，我们终可溯源到“单刻线样板标准器组”和“0.01mm标准测微尺”标准器组。
2、校准项目的设立
2.1、物镜场曲将一物镜安装好，将0.01mm标准测微尺放在工作台上并压紧；旋转调焦旋钮，将焦点调整在测微尺的中间，视场中心成像清晰，此时将千分表测头与工作台表面相接触并对好表的零位；再次旋转调焦旋转，把焦点调整到测微尺的边缘，使视场边缘成像清晰。观察千分表，其大偏移量即为该物镜的场曲误差，其余物镜以此类推进行校准。物镜场曲误差的指标如下：10X<0.2mm、25X<0.1mm、40X<0.07mm、63X<0.065mm、100X<0.04mm
2.2、物镜放大倍数的正确性装上10X标准目镜和被检物镜，将0.01mm标准没微尺放在工作台上并压紧。观察时测微尺应与目镜中的分划板相符合，其偏移量测是放大倍数的误差。其余物镜以此类推进行校校准，其误差不大于5%
2.3、目镜分划板的准确度将带分划板目镜的镜头旋下，把分划板放置在万工显工作台上并调好焦距；调整工作台，使分划板的水平线与万工显纵向导轨行程平行并对好零位，按每20格测量一次，直到第100格，其误差不大于5um
2.4、物镜成像清晰范围用被检物镜及10X目镜对测微尺或金相试样进行调焦，使成像清晰。当视场中心像清晰时，测得视场内的成像清晰范围的误差不低于60%
2.5、各物镜相对于目镜的格值装上被检仪器的10X目镜，将0.01mm标准测微尺(推荐使用随机0.01mm测微尺)放在工作台上并压紧；调整测微尺标尺轴线与仪器目镜分划板标尺轴线平行，并读出目镜分划板i条刻线里包含测微尺n条刻线数，该物镜相对于目镜的格值为：C=n/i*0.01mm.其余物镜的格值以此类推进行校准。
